ディップコーティング例
Dip coating example
微細構造のある立体物への塗布
離型剤によるディップコート
モールドに追従するディップコーティング
モールドに追従するディップコーティング
石英モールドに離型剤塗布 L&S400nm
石英モールドに離型剤塗布 L&S350nm
石英モールドに離型剤塗布→リンス実施 L&S350nm
ポジ型液状レジスト
レジストディップコートによる
微細パターンのディップコーティング
微細パターンのディップコーティング
L/S 10/10(μm)
15/15
20/20
L/S=20/20(μm)