Japanease
English
ナノインコーター(離型剤塗布装置) NIC-1103
小ロット生産・離型剤塗布用
本装置は、最大8inchウエハーを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。処理は1ワークずつ行います。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。
| 主 仕 様 | |
|---|---|
| ストローク | 250mm |
| 対象サイズ | 6inch、8inch |
| 対象材質 | ウエハー |
| ディップ速度 | 0.1mm/secから10mm/sec |
| 塗布液循環部 | 有 |
| 塗布液温度管理 | 無 |
| フィルターメッシュ | 0.05μm |
| 乾燥部 | 無 |
| 乾燥温度 | 無 |
| ヘパユニット | 有 |
| 装置サイズ(概寸) | W:904×D:840×H:1070mm |
