治具(オプション)
Option
タンク(塗布液用) サイズは自由に御指定頂けます。
SUS304材
作業終了時に密閉できる蓋付きタンクです。サイズは自由に御指定頂けます。
ガラス材(石英と支持体)
※内寸法:W27×H40×D3mm(薄型ガラスタンク)
除振台
風防BOX
風防BOX＋除振
環境の影響(空調や振動)を排除する為、除振台(当社オリジナル)と風防BOXを組み合わせました。低速域でのテストには、必須となります。
グローブBOX
アクリル製真空グローブボックスです。真空ポンプで排気することにより、ガス置換が効率的に行えます。
クリーンBOX
風防BOXとFFU（ファンフィルタユニット）の一体型。装置上部にFFUを搭載。
塗布液循環システム 循環系統に熱交換器を付属して、液温管理も可能です。
循環装置A
塗布液を一定の液面に保ち、また塗布液を循環させてフィルターをかけて不純物を除去するシステムです。
循環装置B
塗布液を一定の液面に保ち、また塗布液を循環させてフィルターをかけて不純物を除去するシステムです。
治具
ここに掲載の治具は、ほんの一部です。お客様のご要望にお応えする一品、一葉の治具の設計・製作のお手伝いをさせていただきます。
