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媒体塗布装置 DT-1104
小ロット生産・離型剤塗布用
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本装置は、ディスクやウエハーに、塗布液のフィルタリング循環機構を備えたディップコーティング装置です。冶具を使用して一度に大量のディスクをディップコート(ディップコーティング)できます。また、少量のディップコート液のテストができるサブタンクを併設しています。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター装置です。
| 主 仕 様 | |
|---|---|
| ストローク | 219mm |
| 対象サイズ | 1.8、2.5、3.5inchディスク |
| 対象材質 | ディスク＆ウエハー |
| ディップ速度 | 1μm/sec〜40mm/sec |
| 塗布液循環部 | 有 |
| 塗布液温度管理 | 有 |
| フィルターメッシュ | 0.05μm |
| 乾燥部 | 無 |
| 乾燥温度 | 無 |
| ヘパユニット | 有 |
| 装置サイズ(概寸) | W:1404×D:900×H:1940mm |
