洗浄一体型ディップコーター　SA-1109

離型剤塗布用ディップコーター　洗浄 /離型剤塗布

• 
• 本装置は、ハイスペックのクリーン度を要求されるお客様に最適の装置です。Max8inchのウエハー5枚を同時に設定されたレシピパラメータに従い、自動で各工程を処理する為の自動化装置です。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型洗浄装置です。