本装置は、複数の4inchウエハー、金属板、ガラス等に同時にフォトリソコート液の薄膜ディップコーティングを目的とした、DIP/乾燥の工程を自動的に行うディップコーターです。
SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を応用したディップコーターです。