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フォトリソコート用ディップコーター SA-1407-S1
量産向け・自動装置
本装置は、複数の2inchウエハー、金属板、ガラス等に同時にフォトリソコート液の薄膜ディップコーティングを目的とした、DIP/乾燥の工程を自動的に行うディップコーターです。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を応用したディップコーターです。
| 主 仕 様 | |
|---|---|
| ストローク | 290mm |
| 対象サイズ | 2inchウエハー |
| 対象材質 | ウエハー、金属、ガラス等 |
| ディップ速度 | 0.1mm/secから60mm/sec |
| 塗布液循環部 | 有 |
| 塗布液温度管理 | 無 |
| フィルターメッシュ | 有 |
| 乾燥部 | 有 |
| 乾燥温度 | 100℃ |
| ヘパユニット | 有 |
| 装置サイズ(概寸) | W:1800×D:1100×H:1850mm |
