量産向け・自動装置 仕様/性能比較表
Comparison table
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装置名 | プリント基板コーティング装置 | ハードコート材コーティング装置 | パターンレジスト塗布用 全自動ディップコーター | フォトリソコート用ディップコーター | セミオートディップコーター | 旋回機構付きセミオートディップコーター(UL認定取得装置) | 塗布液節約型ディップコーター | ガラス材用超音波付き洗浄装置 | フォトリソコート用ディップコーター | 高速ディップ(1000mm/sec)多槽コーター |
型式 | SA-1210 | HC-1004 | FA-0406 | SA-1407-S1 | SA-1503-S1 | SA-1509UL | SA-1712 | SA-1801 | SA-2203 | SA-2210 |
ストローク | 185mm | 215mm | 650mm | 290mm | 550mm | 250㎜ | 680mm | 680mm | 330mm | 480mm |
対象サイズ | 150mm角 | W:116、H112、t1.0~3.5mm | W:620×H:510×t1.6 | 3.5inchウエハー | W:300×H:350mm t20 | 複雑な立体構造物(200g以下) | W:515×H:404mm t1.0~1.4 | W:515×H:404mm t1.0~1.4 | 4inchウエハー | W:180×H:300mm |
対象材質 | プリント基板 | ポリカーボネート | 銅板 | ウエハー、金属、ガラス等 | ポリカ、金属、フィルム等 | セラミック、金属、樹脂 | ガラス板 | ガラス板 | ウエハー、金属、ガラス等 | レンズ、アクリル |
ディップ速度 | 1mm/secから120mm/sec | 0.1mm/sec~40mm/sec | 1.0mm~50mm/sec | 0.1mm/secから60mm/sec | 0.1mm~99.9mm/sec | 0.1~20㎜/sec | 0.1~60mm/sec | 0.1~60mm/sec | 0.1mm/secから60mm/sec | 0.1mm/secから1000mm/sec |
塗布液循環部 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 無 |
塗布液温度管理 | 有 | 有 | 有 | 無 | 有 | 有 | 無 | 無 | 無 | 無 |
フィルターメッシュ | 有 | 10μm | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 無 |
乾燥部 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 無 | 有 | 有 | 有 | 無 |
乾燥温度 | 室温 | Max:50℃ | 100℃ | 100℃ | 100℃ | 無 | 60℃ | 120℃ | 100℃ | 無 |
ヘパユニット | 無(オプション可能) | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 無 |
装置サイズ(概寸) | W:1200×D:1100×H:1780mm | W:1400×D:800×H:1900mm | W:8500×D:2000×H:2550mm | W:1800×D:1100×H:1850mm | W:2703×D1603:×H2075:mm | W1481×D1102×H2087mm | W:3644×D:1932×H:2617mm | W:3644×D:1932×H:2537mm | W:1805×D:1100×H:1830mm | W:1805×D:1100×H:1830mm |