クリーン一体型ディップコーター　CR-ND26

特殊機能ディップコーター　環境対応 / クリーン

【本製品は、EU安全指令に基づく CEマーキング適合品です。】
※FFUは除く

ナノ単位制御とθ角制御に、FFU付風防BOXをプラス。清浄な環境で、超低速・高精度コーティングを実現する次世代ディップコーター。

ナノディップ®コーターにFFU付風防BOXを組み合わせ、精密な成膜に適した清浄な局所環境を確保したモデルです。FFUから供給される清浄空気と風防構造により、外気由来の塵埃や気流の影響を抑えながら、1 nm単位の超微細速度制御、2軸・θ角制御による斜め引上げなど、装置本体の高度な制御性能を発揮します。オパール膜形成、ナノ粒子配列、薄膜評価など、微細構造制御と環境清浄度の両方が求められる研究に最適です。タッチパネルで最大16ポイントの速度設定と8種類の動作パターンを登録でき、2軸同期／単独運転、日本語・英語表示にも対応。再現性の高いナノスケール成膜を支援します。