ディップコーティング例
Dip coating example
微細構造のある立体物への塗布
離型剤によるディップコート
モールドに追従するディップコーティング
モールドに追従するディップコーティング
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石英モールドに離型剤塗布 L&S400nm
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石英モールドに離型剤塗布 L&S350nm
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石英モールドに離型剤塗布→リンス実施 L&S350nm
ポジ型液状レジスト
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レジストディップコートによる
微細パターンのディップコーティング
微細パターンのディップコーティング
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L/S 10/10(μm)
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15/15
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20/20
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L/S=20/20(μm)