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特注装置/ガス置換/クリーンBOX一体型
コート液循環機構付きディップコートシステム(循環機構部分離型・耐薬品性考慮) MD-1501-S1
本装置は、耐薬品性を考慮した、複数のガラスや金属を複数枚同時にコートが行えるディップコーター(塗布装置)です。接液部には、PTFE材を使用し、PTFEコート、静電気対策を施工。循環機構部の交換が可能で、複数の循環機構部を用意する事で異なるコート液をディップコートすることが可能なディップコーティングシステムです。
| 主 仕 様 | |
|---|---|
| ストローク | 300mm |
| 対象サイズ | W100×H100mm 複数枚同時処理 |
| 対象材質 | ガラス、ウエハー、金属等 |
| ディップ速度 | 0.01mm/secから100mm/sec |
| 塗布液循環部 | 有 |
| 塗布液温度管理 | 無 |
| フィルターメッシュ | 有 |
| 乾燥部 | 無 |
| 乾燥温度 | 無 |
| ヘパユニット | 無 |
| 装置サイズ(概寸) | W:700×D:550×H:1450mm |
