製品詳細

離型処理装置

ガス置換BOX一体型ナノインコーター(離型剤塗布装置)　
NIC-1109G

本装置は、窒素とのガス置換機能を備えたBOXとナノインコーター(離型処理装置)との一体型装置です。最大152mm×152mm、t6.0の石英ガラスを超音波洗浄、離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。処理は1ワークずつ行います。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。

ストローク	250mm
対象サイズ	152mm×152mm
対象材質	石英ガラス
ディップ速度	0.1mm/secから20mm/sec
塗布液循環部	有
塗布液温度管理	無
フィルターメッシュ	0.5μm
乾燥部	無
乾燥温度	無
ヘパユニット	有
装置サイズ(概寸)	W:800×D:700×H:871mm