製品詳細

特注装置/ガス置換/クリーンBOX一体型
コート液循環機構付きディップコートシステム(循環機構部分離型・耐薬品性考慮)
MD-1501-S1

本装置は、耐薬品性を考慮した、複数のガラスや金属を複数枚同時にコートが行えるディップコーター(塗布装置)です。接液部には、PTFE材を使用し、PTFEコート、静電気対策を施工。循環機構部の交換が可能で、複数の循環機構部を用意する事で異なるコート液をディップコートすることが可能なディップコーティングシステムです。

MD-1501-S1
MD-1501-S1


ストローク 300mm
対象サイズ W100×H100mm 複数枚同時処理
対象材質 ガラス、ウエハー、金属等
ディップ速度 0.01mm/secから100mm/sec
塗布液循環部
塗布液温度管理
フィルターメッシュ
乾燥部
乾燥温度
ヘパユニット
装置サイズ(概寸) W:700×D:550×H:1450mm
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