製品詳細

クリーン仕様/媒体塗布装置

媒体塗布装置
DT-1104

本装置は、ディスクやウエハーに、塗布液のフィルタリング循環機構を備えたディップコーティング装置です。冶具を使用して一度に大量のディスクをディップコート(ディップコーティング)できます。また、少量のディップコート液のテストができるサブタンクを併設しています。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター装置です。

ストローク	219mm
対象サイズ	1.8、2.5、3.5inchディスク
対象材質	ディスク＆ウエハー
ディップ速度	1μm/sec〜40mm/sec
塗布液循環部	有
塗布液温度管理	有
フィルターメッシュ	0.05μm
乾燥部	無
乾燥温度	無
ヘパユニット	有
装置サイズ(概寸)	W:1404×D:900×H:1940mm